一种用于晶圆清洗后烘干处理装置.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114562874 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210200176.6
(22)申请日 2022.03.02
(71)申请人 浙江光特科技有限公司
地址 312
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