一种用于晶圆清洗机构的进水阀.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220523369U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322156989.2
(22)申请日2023.08.11
(73)专利权人苏州盈泷泽半导体设备有限公司
地
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220523369U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322156989.2
(22)申请日2023.08.11
(73)专利权人苏州盈泷泽半导体设备有限公司
地