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一种用于晶圆清洗机构的进水阀.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220523369U

(45)授权公告日2024.02.23

(21)申请号202322156989.2

(22)申请日2023.08.11

(73)专利权人苏州盈泷泽半导体设备有限公司

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