文档详情

一种可调节喷头位置晶圆清洗装置.pdf

发布:2023-03-09约6.59千字共8页下载文档
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213401116 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022803169.4 (22)申请日 2020.11.28 (73)专利权人 扬
显示全部
相似文档