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一种晶圆刻蚀装置及刻蚀方法.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117810136A

(43)申请公布日2024.04.02

(21)申请号202410201555.6

(22)申请日2024.02.23

(71)申请人中国科学院长春光

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