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晶圆承载装置及刻蚀设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212485291 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202020511141.0 (22)申请日 2020.04.09 (73)专利权人长江存储科技有限责任公司

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