文档详情

一种晶圆检测装置及方法.pdf

发布：2023-06-06约8.88千字共8页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013075 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110212887.0 (22)申请日 2021.02.25 (71)申请人上海广川科技有限公司

显示全部

相似文档

一种晶圆检测瑕疵检测装置及方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN117347382A (43)申请公布日2024.01.05 (21)申请号202311419433.6 (22)申请日2023.10.27 (71)申请人珠海诚锋电子科技有限公司地址
2024-01-04 约1.93万字 14页立即下载
一种晶圆表面缺陷检测装置和方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114878593 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210690874.9 (22)申请日 2022.06.17 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院地址
2023-05-18 约1.09万字 11页立即下载
一种晶圆缺陷检测方法及装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112986294 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110145161.X (22)申请日 2021.02.02 (71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司
2023-06-10 约1.25万字 11页立即下载
一种晶圆表面划痕缺陷的检测方法、装置、介质及系统.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN117350988A (43)申请公布日2024.01.05 (21)申请号202311414600.8 (22)申请日2023.10.27 (71)申请人西安芯晖检测技术有限公司地址
2024-01-03 约2.42万字 24页立即下载
一种晶圆质子辐照在线检测装置、系统、方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883211 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210478878.0 (22)申请日 2022.05.05 (71)申请人无锡市核力创芯科技有限公司地址
2023-05-15 约1.29万字 13页立即下载
一种晶圆缺陷的多晶不良检测方法、装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112991332 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110427427.X H01L 21/66 (2006.01) (22)申请日 2
2023-06-08 约2.02万字 18页立即下载
一种晶圆对准方法及装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114464564 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210055768.3 (22)申请日 2022.01.18 (71)申请人北京华卓精科科技股份有限公司地址
2023-05-08 约2.48万字 18页立即下载
晶圆缺口检测装置及其检测方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114791430 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202210714697.3 (22)申请日 2022.06.23 (71)申请人广州粤芯半导体技术有限公司地址
2023-05-14 约8.98千字 8页立即下载
一种晶圆位置检测校对装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213022913 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021146687.7 (22)申请日 2020.06.19 (73)专利权人广东唯是晶圆科技有限公司
2023-02-26 约7.49千字 7页立即下载
一种芯片晶圆隐裂检测装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213121668 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202022297458.1 (22)申请日 2020.10.15 (73)专利权人常永青地址 51
2023-02-27 约6.97千字 7页立即下载
一种晶圆清洗装置、晶圆清洗方法及太鼓环切设备.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551303 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210173184.6 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人江苏京创先进电子科
2023-05-09 约1.74万字 17页立即下载
一种检测晶圆测试探针卡状态的设备、晶圆结构和方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113391181 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110566373.5 (22)申请日 2021.05.24 (71)申请人长江存储科技有限责任公司
2023-06-19 约1.52万字 16页立即下载
一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113358662 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110651221.5 (22)申请日 2021.06.10 (71)申请人广东奥普特科技股份有限公司
2023-06-20 约1.25万字 12页立即下载
一种晶圆刻蚀装置及刻蚀方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN117810136A (43)申请公布日2024.04.02 (21)申请号202410201555.6 (22)申请日2024.02.23 (71)申请人中国科学院长春光
2024-04-01 约1.32万字 13页立即下载
一种晶圆喷印涂胶装置及工艺方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116047863 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211343087.3 (22)申请日 2022.10.31 (71)申请人东北大学地址 110819
2023-05-08 约1.79万字 17页立即下载