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一种晶圆表面划痕缺陷的检测方法、装置、介质及系统.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117350988A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311414600.8

(22)申请日2023.10.27

(71)申请人西安芯晖检测技术有限公司

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