一种基于色彩差影模型的晶圆缺陷检测方法及系统.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114463314 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202210126904.3
(22)申请日 2022.02.11
(71)申请人 磐柔（厦门）工业智能有限公司
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