晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117808809A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202410231487.8G06T5/00(2024.01)
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117808809A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202410231487.8G06T5/00(2024.01)