深亚微米刻蚀与等离子体源.pdf

DOI: 10. 16262 /j .cnki . 1000 -8217. 1996.01.008 1 . 1 .11 ... , ) ( 01 00 08 , , [ 〕 。 , , [ ] 1 , 。 02 。 , 70 , , , 。 , , 6 , 70 09 。