大口径光学平面的子孔径拼接检验研究.pdf

第3 2 卷第4 期 光 学 技 术 Vol . 32 No . 4 　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　 2 0 0 6 年 7 月 OP TICAL TECHN IQU E J uly 　2006 文章编号 : (2006) 0405 1404 　　 大口径光学平面的子孔径拼接检验研究 1 1 ,2 李新南 , 张明意 ( 1. 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 , 南京 　2 10042 ; 2 . 中国科学院研究生院 , 北京 　100039) 摘 　要 : 研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法 。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进 行分析 ,获得了子孔径之间的拼接参量 ,得到了被检验镜面的整体面形信息 。编制了拼接检验的计算程序 ,并完成了原 理性实验 。采用一台口径为 100mm 的移相干涉仪检测了两个样品 ,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果 。样品的 口径分别为 100mm 和 9 1mm 。对比检测结果表明 ,拼接检测与直接检测两种方法的 RM S 之差小于 5nm 。 关 键 词 : 大口径光学平面 ; 子孔径拼接 ; 光学检测 中图分类号 : TH706 　　　文献标识码 : A Study on the sub-aperture stitching interf erometry f or large plano- optics L I Xin-nan1 , ZHAN G Ming-yi1 ,2 ( 1. Nanjing Institute of Astronomical Optics Technology , National Astronomical Observatories , Chinese Academy of Sciences , Nanjing 　2 10042 , China) (2 . Graduate School of Chinese Academy of Sciences , Beijing 　100039 , China) Abstract : The principle of stitching interferometry for large plano-optics is analyzed . The wave-front data in t he overlap ping area are analyzed by using t he algorit hm of t he least- square met hod . Stitching p arameters between adj acent sub- ap erture are calculated . Then t he surface shap e under testing is calculated . Furt hermore , a practical program for stitching interferometry is compiled and related exp eriment s are carried out . To examine t he feasibility of stitching interferometry , a p hase- shift interfer ometer