平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114812428 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202110085155.X
(22)申请日 2021.01.21
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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