微小光学零件表面轮廓的白光干涉拼接测量装置及方法.pdf

平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114812428 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202110085155.X (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究

2023-05-16 约1.45万字 10页立即下载

基于白光干涉的纳米膜层测量方法.docx 题目：基于白光干涉的纳米膜层测量方法 目录 TOC\o1-3\h\z\u摘要 1 Abstract 2 1绪论 3 1.1薄膜厚度对薄膜性能的影响 3 1.2常用膜厚测量方法介绍 3 1.3本文的主要工作内容 5 2白光干涉测量薄膜厚度原理 6 2.1部分相干光理论 6 2.1.1部分相干光的复数表示与光强 6 2.1.2互相干函数和复相干度 7 2.1.3频谱干涉和谱相干度 7 2.2薄膜的多光束干涉原理 8 2.3白光反射光谱原理 9 2.3.1极值法 9

2024-09-12 约1.59万字 22页立即下载

一种基于光学干涉测量的电机振动测量装置和方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116046137 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211500134.0 (22)申请日 2022.11.28 (71)申请人上海工程技术大学地址 2016

2023-05-12 约7.3千字 7页立即下载

零件表面粗糙度和轮廓测量及分析.doc 零件表面粗糙度和轮廓测量及分析一、实验目的了解零件表面形貌的概念；掌握粗糙度标准样板（比较法）和粗糙轮廓仪（针描法）测量表面粗糙度；掌握粗糙轮廓仪测量零件形状误差；二、实验装置表面粗糙度比较样块；零件样品若干；霍梅尔T8000粗糙轮廓仪(精度0.03μm)。三、实验原理概述被加工零件表面的形状是复杂的，一般包括表面粗糙度、表面波纹度和形状误差，可以按波距（波形起伏间距）λ来划分：波距λ＜1mm属于表面粗糙度波距λ在1~10mm属于表面波纹度波距λ＞10mm属于形状误差粗糙度——反映零件微观几何形状特性。主要由加工工艺因素产生。这些微观不平度包括横向进给的痕迹和

2017-04-20 约2.01千字 3页立即下载

白光干涉测量.doc 垂直扫描白光干涉法测量技术垂直扫描白光干涉法是干涉法的基础上发展起来的一种光学非接触测量方法。结合了白光干涉显微技术和相移干涉技术，也被称为白光干涉条纹扫描法、相干检测法等。光的干涉是光在传播过程中呈波动性的重要现象之一，1801年，杨氏双缝实验历史长第一次用实验显示了光的干涉现象，其设计构思的精巧之处在于从同一波阵面上取得了两个波源。随后，相继出现了很多类似原理的实验装置。目前，相干光的应用已经遍及各个领域，如光相干探测、相干光通信以及在遥感领域和军事领域的应用等。光的干涉现象时光的波动性的表现。光的干涉产生干涉条纹，表现为光在遇到障碍物时候出现光的强度或明暗，在空间稳定分布的现象。两

2016-11-01 约2.48千字 6页立即下载

表面测量方法、零件的制造方法、零件的检查方法以及零件的测量装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840206 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980057651.5 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

2023-06-06 约3.84万字 39页立即下载

2024-2030全球白光干涉3D表面轮廓仪行业调研及趋势分析报告.docx 研究报告 PAGE 1- 2024-2030全球白光干涉3D表面轮廓仪行业调研及趋势分析报告一、行业概述 1.1.白光干涉3D表面轮廓仪的定义及特点 白光干涉3D表面轮廓仪是一种高精度的三维测量设备，它通过白光干涉原理，实现对物体表面轮廓的精确测量。该设备利用白光光源发出的光波在物体表面产生干涉，通过分析干涉条纹的变化，计算出物体表面的三维坐标信息。其定义的核心在于其能够提供非接触式的三维测量，适用于各种复杂表面的轮廓分析。在特点方面，白光干涉3D表面轮廓仪具有以下显著特点：首先，它具有高精度和稳定性，能够满足高精度测量的需求，确保测量结果的可靠性。其次，该设备具有宽的测量范围和良好的适应

2025-02-26 约1.82万字 33页立即下载

一种微小曲面零件的测量与建模方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114549745 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210104281.X (22)申请日 2022.01.28 (71)申请人浙江隼视智能科技有限公司地址 3

2023-05-10 约1.33万字 12页立即下载

LD反馈干涉理论及其在表面轮廓测量中的应用研究.pdf 摘要先进而又日趋成熟的激光1二涉测量技术已广泛地应用在工业、医疗、通信等很多的领域，尤其是在工业生产中的几何量测量，它具有测量精度高，且多属于非接触无损检测等特点，使它成为重要的检测手段。但这项新技术在实际应用中始终存在着对应用环境要求高的缺陷，比如测量精度受环境振动、温度变化等因素影响，从而限制了它在实际生产中的广泛应用。如何降低激光干涉测量系统对环境的苛求．使其实际应用得以扩展，也就成为激光干涉测量技术应用研究的一个重要课题，具有很高的使用价值。本文首先对…般激光反馈干涉理论进行了理论分析和仿真计算，在我们搭建的LD反馈干涉实验系统上

2015-09-20 约字 84页立即下载

linnik型显微白光光谱干涉测量方法研究 .pdf linnik型显微白光光谱干涉测量方法研究--第1页目录摘要I II 第1章绪论 1.1微结构表面形貌测试1 1.2薄膜技术的应用与厚度检测2 1.3白光光谱干涉法4 1.4论文主要内容6 第2章白光光谱干涉基本理论 2.1双光束干涉理论7 2.2白光干涉特性9 2.3干涉可见度与相干长度10 2.4白光时域相干与频域相干11 2.5本章小结12 第3章测量系统构建 3.1系统整体设计13 3.2系统硬件14 3.2.1干涉模块14 3.2.2运动及支撑模块15 3.2.3光谱采集模块16 3.2.4辅助调节模块18 3.3系统软件18 3.4本章小结20 第4章绝对距离及微结构表面形貌测

2025-03-20 约9.42万字 63页立即下载

一种基于白光干涉的光声成像装置及方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113406008 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 202110683906.8 审查员吴宝群 (22)申请日 2021.06.21

2023-06-19 约9.74千字 8页立即下载

一种弱刚度易氧化微小T型零件的高表面质量加工方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114535670 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202210274619.6 (56)对比文件

2023-05-07 约1.48万字 16页立即下载

基于线性扫描拼接法的微小圆柱形零件精密测量研究.docx 基于线性扫描拼接法的微小圆柱形零件精密测量研究一、引言随着制造业的快速发展，对微小圆柱形零件的精度要求越来越高。精确的测量技术对于保证产品质量、提高生产效率具有重要意义。传统的测量方法在面对微小圆柱形零件时，往往存在测量精度不高、操作复杂等问题。因此，研究一种适用于微小圆柱形零件的精密测量方法，对于提高制造业水平具有重要意义。本文提出了一种基于线性扫描拼接法的微小圆柱形零件精密测量方法，以期为相关领域的研究和应用提供参考。二、线性扫描拼接法原理线性扫描拼接法是一种基于光学原理的测量方法，其基本原理是通过线性扫描装置对被测物体进行连续扫描，将扫描得到的数据进行拼接处理，从而得到被测物体的

2025-05-22 约4.26千字 9页立即下载

微小零件的表面处理系统.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113386040 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110691957.5 (22)申请日 2021.06.22 (71)申请人苏州圣美特压铸科技有限公司

2023-06-21 约6.57千字 6页立即下载

《双光栅干涉表面轮廓测量传感器》毕业学术论文.doc 摘要 PAGE IV PAGE 4 双光栅干涉表面轮廓测量传感器摘要随着现代制造朝着高精密方向发展，满足一般实验和生产条件下的低成本、方便实用的高精密位移计量测试手段和测量传感器面临紧迫的需求。本文中介绍了一种低成本、高精度的接触式微位移传感器。该装置由半导体激光器、双光栅干涉单元、干涉条纹光电接收与信号处理电路、计数细分与位移数显单元等组成。首先，文中讲到了光栅干涉单元的选用，传感器所用激光器的介绍及由日本滨松公司生产的型号为S6695-01的四象限光电探测器介绍。紧接着讲述了由信号前置放大所得两路正交信号滤波、消除直流偏置和差分放大,及整形为方波信号的各部分电路的具体设

2018-10-01 约2.02万字 40页立即下载