【2017年整理】光刻工艺培训.ppt

Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;从图中可以看出,液晶显示器是一个由上下两片导电玻璃制成的液晶盒，盒内充有液晶，四周用密封材料-胶框（一般为环氧树脂）密封，盒的两个外侧贴有偏光片。 液晶盒中上下玻璃片之间的间隔，即通常所说的盒厚，一般为几个微米（人的准确性直径为几十微米）。上下玻璃片内侧，对应显示图形部分，镀有透明的氧化甸-氧化锡（简称ITO）导电薄膜，即显示电极。电极的作用主要是使外部电信号通过其加到液晶上去。 液晶盒中玻璃片内侧的整个显示区覆盖着一层定向层。定向层的作用是使液晶分子按特定的方向排列，这个定向层通常是一薄层高分子有机物，并经摩擦处理； 在TN型液晶显示器中充有???性向列型液昌。液晶分子的定向就是使长棒型的液晶分子平行于玻璃表面沿一个固定方向排列，分子长轴的方向沿着定向处理的方向。上下玻璃表面的定向方向是相互垂直的，这样，在垂直于玻璃片表面的方向，盒内液晶分子的取向逐渐扭曲，从上玻璃片到下玻璃片扭曲了90°，这就是扭曲向列型液晶显示器名称的由来。; 正性LCD呈现白底黑字，在反射和透反射型LCD中显示最佳； 负性LCD呈现黑底白字，一般用于透射型LCD，加上背光源，字体清晰，易于阅读。 ? 正显模式（白底黑字） 负显模式（黑底白字） ;*;*;主要材料;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;ITO玻璃使用常见问题; 未感光的光刻胶溶于显影溶液，称为负性光刻胶 感光的光刻胶溶于显影溶液的称为正性光刻胶 正胶在紫外线照射后,曝光区的邻重氮茶酿化合物发生光解反应重排生成茚羧酸,使胶膜加速溶于稀碱水溶液, 未曝光区由于没有发生变化,而没有加速作用,从而在曝光区和未曝光区产生了-个溶解速率差, 经稀碱水溶液显影后产生正性图像;正性光刻胶受光或紫外线照射后感光的部分发生光分解反应，可溶于显影液，未感光的部分显影后仍然留在玻璃的表面 正胶：曝光前不可溶，曝光后 可溶 光刻胶对大部分可见光敏感，对黄光不敏感。 因此光刻通常在黄光室（Yellow Room））内进行;;*;1、分辨率:是区别表面上两个或更多的邻近特征图形的能力.一种解释分辨率的实际方法是通过玻璃上形成符合质量规范要求的最小特征图形.形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨能力和光刻系统就越好.;2、对比度:是光刻胶上从曝光区到非曝光区过渡的陡度。对比度代表着只适于在掩膜板透光区规定范围内曝光的光刻胶的能力。高对比度产生的垂直的光刻胶侧墙是理想的。 3、感光度：是硅片表面光刻胶中产生一个良好图形所需的一定波长光的最小能量值,提供给光刻胶的光能量值通常称为曝光量。单位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。 4、粘度:指的是对于液体光刻胶来说其流动特性的定量指标. 粘滞性随着光刻胶中的溶剂的减少而增加；高的粘滞性会产生厚的光刻胶；越小的粘滞性，就有越均匀的光 刻胶厚度。光刻胶的比重是衡量光刻胶的密度的指标。它与光刻胶中的固体含量有关。较大的比重意味着光刻胶中含有更多的固体，粘滞性更高、流动性更差。粘度的单 位：泊（poise），光刻胶一般用厘泊（cps，厘泊为1%泊）来度量。百分泊即厘泊为绝对粘滞率；运动粘滞率定义为：运动粘滞率=绝对粘滞率/比重。 单位：百分斯托克斯（cs）＝cps/SG。 5、粘附性:光刻胶的粘附性描述了光刻胶粘着于衬底的强度。光刻胶粘附性的不足会导致脱胶.光刻胶的粘附性必须经受住曝光,显影和刻蚀工艺。 ;6、抗蚀性:光刻胶胶膜必须保持它的粘附性,并在后续的湿刻和干刻中保护衬底表面,这种性质就被称为抗蚀性. 7、表面张力:指的是液体中将表面分子拉向液体主体内的分子间吸引力.光刻胶具有产生相对大的表面张力的分子间力,所以在不同的工艺步骤中光刻胶分子会聚在一起.同时光刻胶的表面张力必须足够小,从而在应用时能提供良好的流动性和硅的覆盖. ;菲林版 硌版 ;菲林版成本低，制作容易，分辨率低，耐磨性不好，易划伤变形，容易出现显示缺陷，光刻精度不好，与丝网配套性差。 硌版坚固耐磨，寿命长，分辨率高，可以做0.18微米的光刻版，对比度高，金属的稳定性好，成本高。;图形符合设计要求，尺寸准确，不发生变形。 一套母版的各个分版之间应一一套准。 版黑白反差