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微机电系统陀螺仪.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220819017U

(45)授权公告日2024.04.19

(21)申请号202321699428.0

(22)申请日2023.06.30

(30)优先权数据

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