微机电陀螺仪和补偿微机电陀螺仪中的输出热漂移的方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114563013 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202111424200.6
(22)申请日 2021.11.26
(30)优先权数据
102020000028757
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