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微机电陀螺仪和补偿微机电陀螺仪中的输出热漂移的方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114563013 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202111424200.6 (22)申请日 2021.11.26 (30)优先权数据 102020000028757
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