GB/T 42597-2023微机电系统(MEMS)技术　陀螺仪.pdf

ICS31.080.99 CCSL59 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT42597 2023IEC62047-202014 微机电系统( )技术 陀螺仪 MEMS — Micro-electromechanicalsstemstechnolo Groscoes y gy y p ( : , — — IEC62047-202014Semiconductordevices Micro-electromechanicaldevices : , ) Part20GroscoesIDT y p 2023-05-23发布 2023-09-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT42597 2023IEC62047-202014 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 基本评级和特征 ………………………………………………………………………………………… 1 4.1 陀螺仪的分类 ……………………………………………………………………………………… 1 4.2 绝对最大额定值 …………………………………………………………………………………… 2 4.3 正常工作额定值 …………………………………………………………………………………… 3 4.4 性能参数 …………………………………………………………………………………………… 3 5 测量方法 ………………………………………………………………………………………………… 5 5.1 标度因数 …………………………………………………………………………………………… 5 5.2 交叉轴灵敏度 ……………………………………………………………………………………… 15 5.3 零偏 ………………………………………………………………………………………………… 18 5.4 输出噪声 …………………………………………………………………………………………… 27 5.5 带宽 ………………………………………………………………………………………………… 31 5.6 分辨率 ……………………………………………………………………………………………… 36 ( ) ………………………………………………………… 附录 资料性 陀螺仪特性测量值的准确度 A