干涉条纹聚焦技术在过焦扫描微结构线宽测量中的应用.docx

干涉条纹聚焦技术在过焦扫描微结构线宽测量中的应用

目录

干涉条纹聚焦技术在过焦扫描微结构线宽测量中的应用（1）．．．．．．4

内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究目的和意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3文章结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

干涉条纹聚焦技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1干涉条纹形成原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2聚焦成像原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3技术特点与应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

过焦扫描微结构线宽测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1过焦扫描技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.2微结构线宽测量的需求与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.3基于干涉条纹聚焦的测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

实验系统设计与实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

4.1系统组成与工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.2关键部件设计与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

4.3实验系统调试与性能评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

干涉条纹聚焦技术在过焦扫描中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

5.1干涉条纹分析算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

5.2线宽测量数据处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

5.3误差分析与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

实验结果与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

6.1实验样品与参数设置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

6.2干涉条纹采集与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

6.3微结构线宽测量结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

6.4结果讨论与验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

应用实例与效果展示．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

7.1实际微结构线宽测量案例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

7.2与传统方法的对比分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

7.3应用效果评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

总结与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

8.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

8.2存在的问题与改进方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

8.3未来发展趋势与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

干涉条纹聚焦技术在过焦扫描微结构线宽测量中的应用（2）．．．．．44

一、内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

二、干涉条纹聚焦技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

干涉条纹技术基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

聚焦技术介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．