长度测量中干涉条纹的自动识别技术研究.PDF

32 Vol. 32 No. 2003 ACTA PHOTONICA SINICA May 2003 苏俊宏 ( , 710032) 利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用FFT 分析干涉条纹方法, 分析 解决了测量端 面长度标准中条纹图的处理技术, 应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度, 而且大大地提高 了测量结果的精度, 给出了最典型的端面长度标准量块的干涉条纹小数部分的实测结果 量块; 激光干涉测量法; 干涉条纹处理 O4361 TB921 A [4] , 0 , L = (N+ ) / 2+ C (1) , L , N [ 1~ 2] , , , C , , 1 , He-Ne ( 633 nm 43 nm) , , , 2 , L / 2 , , , L 2 ( ) , , [ 3] N, , , ( FFT) , 图1 新型柯氏干涉仪原理 , Fig1 Diagram of new type Keskers interferometer , , , 1 , , Tel:029 3208062 图2 一组典型的干涉条纹 收稿日期: 2002 12 16 Fig2 A set of typical fringes 616 32 * - j2f x , 633 nm , c (x, y) e 0 + n(x , y) ( ) = m/ M, , M ( ) x FFT , ( ) I (f , y) = A (f , y) + c(f - f , y) + 0 ; m * c (f -f , y) + N(f , y) (6) 0 , I (f , y) , A (f , y), N (f , y ) i (x ,