激光干涉光场调控微结构制备技术研究.pdf
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摘要
随着科技的发展，表面微纳结构由于其存在阵列和周期性，而具备新奇的单一
或复合功能，而被科学界和工业界广泛重视。目前，有机材料在国防、工业生产和
人民生活中被广泛应用，但在实际的生产和生活中，有机材料表面微纳结构化一直
未得到广泛应用，束缚有机材料表面微纳结构化的根源在于缺少大面积高效低成本
的微纳结构制备技术。因此，本文基于激光干涉光刻技术高效、大面积、周期性、
低成本以及加工材料范围广的优势，通过激光干涉光场调控，基于有机材料以光固
化和直写制备出形状、周期和特征尺寸不同的微结构。并基于
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