美国半导体器件的失效率及其计算方法.pdf
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电子产 品可靠性与环境试验 卯 年第 期
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彭 苏娥 刘 涌 信息产业 部 电子 五所
摘要 本 文用 美 国哈里 斯 半导体器件公 司 的实例 数据介绍 了如何采用 新概念计算半
导体 失效率 的方 法 , 并 收集 了近年来发表 的部分 半导体器 件 失效率 的数据 其 中早期失
效率数据是利 用 置信 度 计 算 出来 的, 长 期 失效率是利用 激活 能和 置信 度计 算
出来 的 , 同时还分 析 了 自 年 以来美 国半导体 失效率 的变化趋势或 可 靠性 改进 的情
况 , 以供 参考 。
关键词 半导体器件 失效率
半导体器件 失效率计算方法
引 言
的实例介绍
推算产 品失效率 的传统方法是对从母 体 这里是美 国哈里斯半导体公 司介绍 的产
中随机抽 取 的样 品进 行 高温 加速寿 命试验 , 品失 效率计算方法 的实例 假定有 以 个样
,
出在 下 的失效 然后进行 品 , ℃ 《 〕 的
计算 该试验条件 率 放在 的箱 中进 行 小 时 试
,
外推 以得 出降额条件下或在现场应用条件 验 , 在 仪刃 小时有一个失效 光刻胶 裂缝 ,
。
下 的失效率估计值 虽然描述半导体器件可 活 , 《 一
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