多晶硅薄膜材料制备技术研究进展_李嘉.pdf

DOI:10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2015.05.037 35 5 May 2015 第 卷第 期 现代化工 2015 5 Modern Chemical Industry ·25 · 年 月 多晶硅薄膜材料制备技术研究进展 1 1 1 1，2* 1 2 李 嘉 ， ， ， ， ， 焦 周 高 吕 范 玉娟 正扬 肖汉 雪川 志平 (1． ， 113001 ; 辽宁石油化工大学化学化工与环境学部化学与材料学院 辽宁抚顺 2． ， 113001) 辽宁石油化工大学化学化工与环境学部生态环境研究院 辽宁抚顺 摘 : ， 要 阐述了多种多晶硅薄膜的制备方法和相关工艺技术 介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构和性能等的影 ， ， 。 响 并比较了多种制备方法优点与不足 并对今后发展趋势和前景做出展望 : ; ; ; ; 关键词 多晶硅薄膜 化学气相沉积 固相晶化 金属诱导晶化 太阳能电池 中图分类号:TB43 ;TN304． 1 + 2 文献标志码:A 文章编号:0253 － 4320 (2015)05 － 0025 － 05 Progress in preparation of polycrystalline silicon thin-film LI Jia 1 ，JIAO Yu-juan 1 ，ZHOU Zheng-yang1 ，GAO Xiao-han1，2* ，LV Xue-chuan 1 ，FAN Zhi-ping2 (1． College of Chemistry，Chemical Engineering and Environmental Engineering ，Liaoning University of Petroleum Chemical Technology ，Fushun 113001 ，China ;2． Institute of ecological environment ，College of Chemistry ， Chemical Engineering and Environmental Engineering ，Liaoning University of Petroleum Chemical Technology ， Fushun 113001 ，China) Abst