多晶硅尾气回收工艺研究进展_陈其国.pdf

第 47 卷 第 9期 氯 碱 工 业 Vo.l 47, No. 9 2011年 9月 Chlor-A lkali Industry S p. , 2011 * 1 2 1 陈其国 , 高 建 , 陈文龙 ( 1. 江苏中能硅业科技发展有限公司, 江苏 徐州221004; 2. 南京大学固体微结 物理国家重点实验室, 江苏 南京 2 10093) [ ] ; ; [ ] , [ ] TQ 127. 2 [ ] A [] 1008- 133X ( 2011) 09- 000 1- 03 R esearch progress on polycry stalline silicon tail gas recovery technology 1 2 1 CH EN Q ig uo , GAO J ian , CH EN W enlong ( 1. Jiangsu Zhongn ng Polysilicon T chnology D v lopm nt Co., Ltd., Xuzhou 221004, China; 2. N ational Laboratory of Solid Stat M icrostructur s, N anjingU niv rsity, Nanjing 210093, Ch ina) K ey w ord s: polycrystallin silicon; tail gas; m mbran s paration t chnology A bstrac t: Th r cov ry proc ss and m thod of polysilicon tail gas ar r vi w d. Th app lication prosp cts of n w typ m mbran s paration t chnology in polysilicon tail gas r cov ry ar d iscuss d. , , , 1 , S iHCl SiH , 3 4 , [ 2] 3 : 1 H SiHCl S iHC l SHi 2 3 3 4 , SiCl HCl; 2 , SHi Cl 4 3 H 2 H SiHC l , 2