旋涂法制备功能薄膜的研究进展.pdf
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第 卷 第 期 影像科学与光化学
30 2 Vol.30 No.2
年 月 ,
2012 3 Imain ScienceandPhotochemistr Mar. 2012
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旋涂法制备功能薄膜的研究进展
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1 2 1 2 1
, , ,
王 东 刘红缨 贺军辉 刘林林
( ( ) , ;
中国矿业大学 北京 化学工程与环境学院 北京
1. 100083
, )
中国科学院理化技术研究所功能纳米材料实验室 北京
2. 100190
: , 、
摘 要 作为众多的薄膜制备方法之一 旋涂法具备薄膜厚度精确可控 高性价
比、 、 , 、 、 、
节能 低污染等优势 在微电子技术 纳米光子学 生物学 医学等领域中有
、
着广阔的应用前景 本文简单介绍了旋涂法的模型 机理及其主要参数的估算
.
方法, 、 ,
并总结了近几年来用旋涂法制备光学 微电子学等功能薄膜的新进展 最
后对旋涂法的发展前景进行了展望.
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关 键 词 旋涂法 功能薄膜 厚度控制
文章编号: ( ) 中图分类号: 文献标识码:
16740475201202009111 O64 A
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、 、
功能薄膜是发展信息技术 生物技术 能源技术等领域和国防建设的重要表面材料
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