《碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规范》.pdf

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CASME

团体标准

T/CASMEXXXX—XXXX

碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规

范

Tantalumcarbidecoatingproducttechnicalrequirements

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国中小商业企业协会  发布

T/CASMEXXXX—XXXX

碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规范

1范围

本文件规定了碳化硅晶体长晶用碳化钽（TaC）涂层产品的技术要求、试验方法、检验规则、质量

检验报告及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于碳化硅晶体生长用途的碳化钽涂层产品，其制备工艺包含物理气相沉积或化学气相沉

积、等离子喷涂等方法。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T16534精细陶瓷室温硬度试验方法

GB/T10610产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法

GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法

GB/T31563金属覆盖层厚度测量扫描电镜法

GB/T37246精细陶瓷抗热震性能试验方法

ISO/TS15338：2025表面化学分析辉光放电质谱操作程序（Surfacechemicalanalysis—

Glowdischargemassspectrometry—Operatingprocedures）

ISO19618：2025精细陶瓷（先进陶瓷、先进陶瓷技术）利用FTIR光谱仪参考黑体的法向光谱辐

射率测量方法（Fineceramics(advancedceramics,advancedtechnicalceramics)—Measurement

methodfornormalspectralemissivityusingblackbodyreferencewithanFTIRspectrometer）

ASTMD4541-02用手提式粘合试验仪测定涂层脱落强度的标准试验方法（StandardTestMethod

forPull-OffStrengthofCoatingsUsingPortableAdhesionTesters）

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

碳化硅晶体siliconcarbidecrystal

由碳（C）和硅（Si）元素以化学键结合形成的晶体结构材料，具体指半导体碳化硅衬底和芯片制

作所需的碳化硅单晶材料。

3.2

碳化钽涂层tantalumcarbidecoating

由碳（C）和钽（Ta）元素以化学键结合形成的碳化钽材料，通常采用物理气相沉积或化学气相沉

积、等离子喷涂等方法在零件表面制备的碳化钽陶瓷涂层。

3.3

体密度bulkdensity

每单位体积物质的质量，陶瓷样品的质量与外观体积之比。

3.4

抗热震性thermalshockresistance

陶瓷材料在快速温度变化条件