文档详情

等离子体处理沟道技术赋能SnOx薄膜晶体管性能提升研究.docx

发布：2025-04-21约2.43万字共20页下载文档

文本预览下载声明

等离子体处理沟道技术赋能SnOx薄膜晶体管性能提升研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体领域中，薄膜晶体管（Thin-FilmTransistors，TFTs）作为最基础且重要的三端电子元器件，已然成为推动现代电子技术发展的关键力量，被广泛应用于平板显示、射频标签等消费类产品，以及新兴的光电探测、光敏神经突触和人工智能等前沿领域。SnOx薄膜晶体管作为氧化物半导体薄膜晶体管中的重要一员，凭借其独特的物理性质和电学特性，在半导体领域占据了重要地位。一方面，SnOx具有良好的光学透明性，这使其在透明电子学领域，如透明显示器、透明传感器等方面展现出巨大的应用潜力，能够满足现代电

显示全部

相似文档

一种基于等离子体处理有源层的金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823349 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210094383.8 (22)申请日 2022.01.26 (71)申请人海宁市产业技术研究院地址 314
2023-05-12 约1.29万字 12页立即下载
非理想边界条件下场效应晶体管中THz等离子体波传播特性的研究.docx 非理想边界条件下场效应晶体管中THz等离子体波传播特性的研究一、引言随着科技的飞速发展，太赫兹（THz）波因其独特的物理特性和潜在的应用价值，已成为现代科学研究的重要领域。场效应晶体管（FET）作为电子器件中的关键组成部分，其内部THz等离子体波的传播特性在非理想边界条件下的研究，对于提升电子设备的性能和拓展其应用范围具有重大意义。本文旨在探讨非理想边界条件下场效应晶体管中THz等离子体波的传播特性，为相关研究提供理论依据。二、THz等离子体波的基本理论 THz等离子体波是一种在固体材料中传播的电磁波，其频率范围在太赫兹级别。在理想条件下，THz等离子体波的传播受到材料本身的物理特性和外
2025-05-22 约3.7千字 7页立即下载
等离子体水处理技术重点.ppt 等离子体水处理技术 种珊 2010.4.9 等离子体简介 等离子体氧化机理水处理等离子体类型研究现状发展趋势 等离子体是物质第四态，是由大量的自由电子和离子组成、且在整体上表现为电中性的电离气体。宇宙中90％物质处于等离子体态人造等离子体 等离子体科学在能源、材料、信息、环保、国防、微电子、半导体、航空、航天、冶金、生物医学、造纸、化工、纺织、通讯等领域有广泛的应用。日常生活中：日光灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发生器；工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理；高技术应用：托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率微波器件、离子源、强流束
2017-01-30 约4.83千字 44页立即下载
等离子体处理技术.docx 等离子体处理技术 等离子体是一种由离子、电子和未电离的中性粒子组成的物质状态，广泛应用于材料表面处理、环境保护、医疗健康等领域。等离子体处理技术利用等离子体的特性，对物质表面进行改性，提高材料的性能和功能。 1.环保性：等离子体处理技术是一种绿色环保的表面处理方法，不会产生有害物质，符合现代环保要求。 2.高效性：等离子体处理技术具有高效、快速的特点，可以大大提高生产效率。 3.广泛性：等离子体处理技术适用于各种材料，如金属、塑料、陶瓷等，可以满足不同领域的需求。 4.精确性：等离子体处理技术可以精确控制处理参数，实现精细的表面改性。 5.多功能性：等离子体处理技术可以实现多种表面改性效果，如
2024-11-07 约1.78千字 3页立即下载
非平衡等离子体水处理技术研究进展.doc 非平衡等离子体水处理技术研究进展张延宗，郑经堂，陈宏刚〔中国石油大学〔华东〕重质油加工国家实验室，东营257061〕摘要：回忆了高压脉冲电源的开展概况，对现行研究中使用的非平衡等离子体水处理反响器进行了分类，系统总结了液相、气相和气液两相放电反响器的研究现状，指出了待改良之处和开展趋势。归纳了脉冲放电过程中催化剂的使用状况，分析了催化剂在脉冲放电过程中的作用，指出了不同催化剂在使用过程中存在的问题及进一步研究的方向。关键词：非平衡等离子体；废水处理；反响器；催化剂中国分类号：TM213；X701文献标识码：A文章编号：1000–6613〔2007〕07–0000–00 Experim
2025-01-13 约1.75万字 7页立即下载
等离子体技术在材料处理中的应用研究.docx 等离子体技术在材料处理中的应用研究目录 等离子体技术在材料处理中的应用研究（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3 一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3 1.1等离子体技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4 1.2材料处理现状分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5 1.3研究必要性及其价值．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6 二、等离子体技术基本原理．．．．．．．．．．．．．．．
2025-04-23 约4.26万字 73页立即下载
等离子体显示器中介质保护薄膜的性能研究的中期报告.docx 等离子体显示器中介质保护薄膜的性能研究的中期报告目前，等离子体显示器（PDP）已成为主流电视市场中的一种重要显示技术。尽管等离子体显示器技术已被广泛应用，但使用寿命仍然是制约其进一步推广的关键因素之一。在PDP中，屏幕显示性能的降低通常是由于保护膜的劣化引起的。因此，研究PDP中介质保护薄膜的性能，对于提高PDP使用寿命和减少成本具有重要意义。本文介绍了该研究的中期进展情况。首先，我们对PDP中的介质保护薄膜进行了材料分析。采用扫描电子显微镜观察样品微观结构，并进行了元素分析和晶体结构分析。结果表明，介质保护薄膜的主要成分为镁钛榴石结构的材料，包括Mg2SiO4和MgTiO3。此外，还检测
2023-10-14 约小于1千字 1页立即下载
《氢气等离子体处理Ga2O3及Ce掺杂Ga2O3薄膜的光电特性研究》范文.docx 《氢气等离子体处理Ga2O3及Ce掺杂Ga2O3薄膜的光电特性研究》篇一摘要：本文重点研究了氢气等离子体处理对Ga2O3及Ce掺杂Ga2O3薄膜的光电特性影响。通过实验分析，我们观察到氢气等离子体处理后，薄膜的光吸收、光致发光、电导率等特性均有所改善。本文首先介绍了研究背景及意义，随后详细描述了实验方法、数据处理及分析，最后得出结论并讨论了未来研究方向。一、引言随着科技的进步，氧化镓（Ga2O3）及其掺杂材料在光电子领域的应用日益广泛。Ga2O3因其优异的物理和化学性质，如高光学透明度、高化学稳定性等，在光电器件领域具有巨大的应用潜力。然而，其光电特性的进一步提升仍需深入研究。近年来，
2024-10-07 约2.72千字 6页立即下载
等离子体光子晶体的带隙结构研究.PPT 等离子体光子晶体的带隙结构研究一、背景介绍光子晶体是指“具有禁带特征的周期性电介质结构”。 等离子体光子晶体(plasma photonic crystals,简称PPC)是指空间分布呈现周期性的等离子体，包括等离子体与介质的周期性放置以及等离子体密度呈周期性分布等二、相关研究 S.P.Kuo，James Faith，Interaction of an electromagnetic wave with a rapidly created spatially periodic plasma，Physical Review E，Vol.56，No.
2017-09-04 约1.67千字 20页立即下载
白公鹅羽毛表面等离子体处理2025年抗菌性能提升.docx 毕业设计（论文） PAGE 1- 毕业设计（论文）报告题目：白公鹅羽毛表面等离子体处理2025年抗菌性能提升 学号：姓名：学院：专业：指导教师：起止日期：白公鹅羽毛表面等离子体处理2025年抗菌性能提升 摘要：随着科技的发展，抗菌材料的研究越来越受到重视。本文针对白公鹅羽毛表面等离子体处理技术，通过实验研究其在2025年的抗菌性能提升。首先，对白公鹅羽毛进行等离子体处理，然后通过多种测试方法对其抗菌性能进行评估。结果表明，等离子体处理后的白公鹅羽毛具有显著的抗菌性能，可以有效抑制细菌的生长。本文详细介绍了等离子体处理技术的原理、实验方法以及抗菌性能的评价方法，为抗菌材料的研究提
2025-05-17 约8.48千字 17页立即下载
等离子体处理对涤纶染色性能的影响.doc 等离子体处理对涤纶染色性能的影响摘要：涤纶纤维由于它的理化性能优良,已被广泛地用于现代生活的各个方面。但由于其大分子链紧密敛集,结晶度和取向度较高,极性较小,缺乏亲水基团且无染色位。因此涤纶纤维的染色问题一直是研究的重点。本文通过等离子体对涤纶织物进行表面改性,再用X光电子谱测试织物表面化学成分，研究了涤纶织物处理前后表面形态的变化, 探讨了经等离子体处理后, 涤纶织物的上染性能的变化。结果表明, 等离子体处理提高了涤纶织物的染色性能, 同等染色条件下, 经等离子体处理的织物染色后与未处理的织物相比,前者具有明显深色效应。选用极性不同的分散染料上染处理前后的涤纶织物,上染率同样大幅度提高。
2018-11-22 约2.23千字 3页立即下载
等离子体技术.docx 等离子体技术 等离子体技术是一种利用等离子体（一种由带电粒子组成的物质状态）进行加工、合成、处理和改进材料的技术。等离子体是物质的第四种状态，除了固态、液态和气态之外，它由带正电的离子和带负电的电子组成，在高温和低密度条件下形成。 1.半导体制造：等离子体技术在半导体制造过程中扮演着重要角色。它用于蚀刻和沉积工艺，通过精确控制等离子体的温度、压力和化学成分，可以实现微纳米级别的图案化，从而制造出高性能的半导体器件。 2.表面处理：等离子体技术可以用于表面处理，例如涂层、清洗和改性。通过等离子体与材料的相互作用，可以改变材料的表面性质，如硬度、耐磨性和附着力，从而提高材料的性能和寿命。 3.环保
2024-11-10 约1.76千字 3页立即下载
等离子体技术..doc 等离子体技术 等离子体技术（plasma technology）应用等离子体发生器产生的部分电离等离子体完成一定工业生产目标的手段。 等离子体特点:等离子体的温度高，能提供高焓值的工作介质，生产常规方法不能得到的材料，加之有气氛可控、设备相对简单、能显著缩短工艺流程等优点，所以等离子体技术有很大发展。1879年W.克鲁克斯指出放电管中的电离气体是不同于气体、液体、固体的物质第四态，1928年I.朗缪尔给它起名为等离子体。最常见的等离子体有电弧、霓虹灯和日光灯的发光气体以及闪电、极光等。随着科学技术的发展，人们已能用多种方法人工产生等离子体，从而形成一种应用广泛的等离子体技术。一般来说，
2017-05-04 约2.08万字 4页立即下载
等离子体聚合薄膜论文.docx 等离子体聚合薄膜论文摘要：本文旨在探讨等离子体聚合薄膜的制备及其在材料科学和纳米技术领域的应用。通过对等离子体聚合薄膜的制备工艺、结构特性、性能优势以及应用前景的分析，为相关领域的研究者和工程师提供理论指导和实践参考。关键词：等离子体聚合薄膜；制备工艺；结构特性；性能优势；应用前景一、引言（一）等离子体聚合薄膜的制备工艺 1.内容一：等离子体聚合的基本原理 等离子体聚合是一种利用等离子体能量引发单体分子聚合反应的技术。其基本原理是通过等离子体产生的高能电子和自由基与单体分子发生反应，从而形成聚合物薄膜。等离子体聚合具有反应速度快、聚合度高、可控性好等优点。 2.内容二：等离子体聚
2025-04-10 约4.8千字 11页立即下载
表面等离子体激元增强型光电探测器性能提升技术研究资料集.docx 表面等离子体激元增强型光电探测器性能提升技术研究资料集目录一、表面等离子体激元增强型光电探测器性能提升技术研究项目申报书二、表面等离子体激元增强型光电探测器性能提升技术研究立项申请书三、表面等离子体激元增强型光电探测器性能提升技术研究阶段性成果报告四、表面等离子体激元增强型光电探测器性能提升技术研究最终成果报告表面等离子体激元增强型光电探测器性能提升技术研究项目申报书一、立项依据 1.1产业背景随着信息技术的快速发展，光电子器件在通信、计算机、生物医学、环境监测等领域得到了广泛应用。光电探测器作为光电子器件的核心组成部分，其性能直接关系到光电子系统的整体性能。近年来，表面等离
2025-03-21 约7.02千字 16页立即下载