《 氢气等离子体处理Ga2O3及Ce掺杂Ga2O3薄膜的光电特性研究》范文.docx
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《氢气等离子体处理Ga2O3及Ce掺杂Ga2O3薄膜的光电特性研究》篇一
摘要：
本文重点研究了氢气等离子体处理对Ga2O3及Ce掺杂Ga2O3薄膜的光电特性影响。通过实验分析，我们观察到氢气等离子体处理后，薄膜的光吸收、光致发光、电导率等特性均有所改善。本文首先介绍了研究背景及意义，随后详细描述了实验方法、数据处理及分析，最后得出结论并讨论了未来研究方向。
一、引言
随着科技的进步，氧化镓（Ga2O3）及其掺杂材料在光电子领域的应用日益广泛。Ga2O3因其优异的物理和化学性质，如高光学透明度、高化学稳定性等，在光电器件领域具有巨大的应用潜力。然而，其光电特性的进一步提升仍需深入研究。近年来，
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