2023年微波集成电路AL2O3基片项目风险可行性方案 .pdf

2023年微波集成电路AL2O3基片项目风险可行性方案--第1页

微波集成电路AL2O3基片项目风

险可行性方案

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目录

概论4

一、微波集成电路AL2O3基片项目建设背景.4

(一)、微波集成电路AL2O3基片项目提出背景4

(二)、微波集成电路AL2O3基片项目建设的必要性5

(三)、微波集成电路AL2O3基片项目建设的可行性6

二、工艺方案的选择.9

(一)、基本要求.9

(二)、典型工艺技术介绍.10

(三)、微波集成电路AL2O3基片项目组成.12

(四)、工艺技术方案的选择.13

(五)、工艺技术方案的设计.14

三、微波集成电路AL2O3基片项目选址.16

(一)、微波集成电路AL2O3基片项目选址原则16

(二)、原材料及主要辅助材料供应.17

(三)、交通条件.19

(四)、自然条件.21

(五)、经济发展状况.23

(六)、厂址选择.25

四、微波集成电路AL2O3基片项目建设单位基本情况.28

(一)、微波集成电路AL2O3基片项目建设单位基本情况28

(二)、微波集成电路AL2O3基片项目主管单位基本情况29

(三)、微波集成电路AL2O3基片项目技术协作单位基本情况31