2023年微波集成电路AL2O3基片项目可行性研究方案 .pdf

2023年微波集成电路AL2O3基片项目可行性研究方案--第1页

微波集成电路AL2O3基片项目可

行性研究方案

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目录

前言4

一、工艺方案的选择.4

(一)、基本要求.4

(二)、典型工艺技术介绍.5

(三)、微波集成电路AL2O3基片项目组成.7

(四)、工艺技术方案的选择.8

(五)、工艺技术方案的设计.10

二、微波集成电路AL2O3基片项目建设目标.11

(一)、微波集成电路AL2O3基片项目建设目标11

三、微波集成电路AL2O3基片项目建设单位基本情况.13

(一)、微波集成电路AL2O3基片项目建设单位基本情况13

(二)、微波集成电路AL2O3基片项目主管单位基本情况14

(三)、微波集成电路AL2O3基片项目技术协作单位基本情况16

四、微波集成电路AL2O3基片项目建设内容.18

(一)、建筑工程.18

(二)、电气、自动控制系统.20

(三)、通用及专用设备选择.21

(四)、公共工程.23

五、信息技术与数字化转型.24

(一)、信息化基础设施建设.24

(二)、数据安全与隐私保护.26

(三)、数字化生产与运营.28