2023年微波集成电路AL2O3基片项目可行性评估方案 .pdf

2023年微波集成电路AL2O3基片项目可行性评估方案--第1页

微波集成电路AL2O3基片项目可

行性评估方案

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目录

序言4

一、投资估算与资金筹措.4

(一)、投资估算依据及范围.4

(二)、固定资产投资总额.6

(三)、铺底流动资金和建设期利息.8

(四)、资金筹措.9

二、工艺方案的选择.10

(一)、基本要求.10

(二)、典型工艺技术介绍.12

(三)、微波集成电路AL2O3基片项目组成.13

(四)、工艺技术方案的选择.14

(五)、工艺技术方案的设计.16

三、微波集成电路AL2O3基片项目建设内容.17

(一)、建筑工程.17

(二)、电气、自动控制系统.19

(三)、通用及专用设备选择.21

(四)、公共工程.22

四、微波集成电路AL2O3基片项目建设背景.24

(一)、微波集成电路AL2O3基片项目提出背景24

(二)、微波集成电路AL2O3基片项目建设的必要性25

(三)、微波集成电路AL2O3基片项目建设的可行性26

五、环境保护与安全生产.28