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静电卡盘和半导体设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212991070 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202120356588.X (22)申请日 2021.02.09 (73)专利权人 北京中硅泰克精密技术有限公司
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