静电卡盘和半导体设备.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212991070 U
(45)授权公告日 2021.04.16
(21)申请号 202120356588.X
(22)申请日 2021.02.09
(73)专利权人 北京中硅泰克精密技术有限公司
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