半导体测试设备.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220272429U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202321849248.6
(22)申请日2023.07.13
(73)专利权人矽电半导体设备（深圳）股份有限
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????????? 模拟、数字和存储器测试等系统的介绍
????????? 负载板（Loadboards）、探测机（Probers）、机械手（Handlers）和温度控制单元（Temperature units）
一、晶圆、晶片和封装
????? 1947年，第一只晶体管的诞生标志着半导体工业的开始，从那时起，半导体生产和制造技术变得越来越重要。以前许多单个的晶体管现在可以互联加工成一种复杂的集成
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????????? 自动测试设备（ATE）的总体认识
????????? 模拟、数字和存储器测试等系统的介绍
????????? 负载板（Loadboards）、探测机（Probers）、机械手（Handlers）和温度控制单元（Temperature units）
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????? 1947年，第一只晶体管的诞生标志着半导体工业的开始，从那时起，半导体生产和制造技术变得越来越重要。以前许多单个的晶体管现在可以互联加工成一种复杂的集成的电路形式，这就是半导体
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114464623 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202110670110.9 H01L 27/24 (2006.01)
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半导体制造装置
支撑IC产业发展的基石
Mark Ding, TOKYO ELECTRON (SHANGHAI) LIMITED
Lihung Chen, TOKYO ELECTRON LIMITED
2014/09/25
Contents
• Recent Chinese Market and Technology Challenge
• State-of-the-art WFE Technology
• Outlook of the New Era
• Summary
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半导体清洗设备.pdf
清洗机特点：
◆ 本设备为浸泡式清洗机，用于半导体行业扩散炉石英管清洗
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◆ 可根据用户要求
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半导体光刻设备.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112925174 B
(45)授权公告日 2022.03.22
(21)申请号 202110118289.7 审查员 王春萌
(22)申请日 2021.01.28
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半导体工艺与设备.doc
ICP电感耦合等离子体inductively coupled。ECR电子回旋共振electron cyclotron resonance。APCVD常压cvd，atmospheric。Cmos互补金属氧化半导体complementary metal-oxide-semiconductor。SMT,manufacturing。LED,emission diode。PSG磷硅玻璃phosphorus。RF射频radio frequency
why silicon?abundant cheap,silicon dioxide dielectric grow thermal,band gap,oper
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半导体加工设备.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114875384 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210444943.8
(22)申请日 2022.04.26
(71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司
地址
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晶舟及半导体设备.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883229 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210325021.5
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
地址
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半导体装置和设备.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112928152 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202011400660.0
(22)申请日 2020.12.04
(30)优先权数据
2019-2214
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半导体清洗设备.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113363185 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110599855.0
(22)申请日 2021.05.31
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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半导体加工设备.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114807873 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210294338.7
(22)申请日 2022.03.23
(71)申请人 深圳市利拓光电有限公司
地址 51
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