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静电卡盘及半导体加工设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112563185 B (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202110190792.3 审查员刘婧 (22)申请日 2021.02.20

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