半导体制造2025年：超精密加工技术在半导体设备升级中的应用报告.docx
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一、半导体制造2025年：超精密加工技术在半导体设备升级中的应用报告
1.1技术发展背景
1.1.1半导体产业现状
1.1.2我国半导体产业现状
1.2超精密加工技术概述
1.2.1光刻机
1.2.2刻蚀机
1.2.3CVD设备
1.3超精密加工技术在半导体设备升级中的应用前景
1.3.1提高半导体器件性能
1.3.2降低生产成本
1.3.3促进产业升级
二、超精密加工技术在半导体设备中的应用案例分析
2.1超精密加工技术在光刻机中的应用
2.1.1光刻机镜头的加工
2.1.2光刻机物镜的加工
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