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化合物及其合成方法、硬掩模组合物以及形成图案的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112979408 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011473598.8 C07C 5/41 (2006.01)

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