有机膜形成材料、有机膜形成方法、图案形成方法、以及化合物.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113341646 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110219930.6
(22)申请日 2021.02.26
(30)优先权数据
2020-0347
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