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鎓盐化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112979458 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011462505.1 C07C 51/41 (2006.01)

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