一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114545031 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210134118.8
(22)申请日 2022.02.14
(71)申请人 中山大学
地址 510300 广
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