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一种高真空原位原子力显微镜送样装置.pdf

发布:2023-06-20约7.83千字共9页下载文档
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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113406362 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110664485.4 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人 北京航空航天大学合肥创新研究院
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