一种基于原子力显微镜的纵向压电系数测量方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112986704 B
(45)授权公告日 2022.05.03
(21)申请号 202110207388.2 CN 102662111 A,20
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