马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪.pdf

第26卷第2期 光学学报 V01．26，No．2 2006年2月 ACTA0PTICASINICA 0269—6 文章编号：0253—2239(2006)02 马赫一曾德尔型相移矢量剪切干涉仪 徐荣伟刘宏晨刘立人 (中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验窒，上海201800) 摘要： 为了实现对激光波面的等光程测试．设计了一个新颖的相移矢量剪切干涉仪。该干涉仪以马赫曾德尔结 构为基础，为等光程干涉仪。通过在相干的两路光束中分别插入楔角方向正交放置的楔板实现矢量剪切；其中一 块楔板分成两块(平板部分和楔板部分)，楔板部分沿平板部分的表面移动，通过改变光程茬来实现相移，知相移所 需的移动距离为几毫米的量级，该相移方法在相移精度控制上比较简单。文中还对楔板引人的横向剪切误差和相 移误差进行了分析，最后给出了实验所得的一组相移干涉图。 关键词：光学器件j干涉仪；相移；矢量剪切；楔板；等光程 中图分类号：TN744．3 文献标识码：A Interferometer Phase-ShiftingVectorial-Shearing withMach-Zehnder Configuration Xu Liu LiuLiren RongweiHongzhan Institute andPineMechanics (Informatim。op￡洒Laboratory，ShanghaiofOptics The 201800) ChineseAcademyofSciences，Shanghai Abstract：Anovel interferometerwitha is tomeasure phese-shiffingvectorial-shearing wedgephtephase-sinfterpresented thelaserwavefront，winchis andbasedonMach-zehnder Vectorial inzand conmlompath shear(shearingY configuration directions directionis two intwoarms， simultaneously)inarbitrary introducedby plates insertingwedge orthogonally of the is One is intotwo and shift by respectivelywedgeplaressplit parts(parallelpart wedgepart)，andplmse produced the incontactthe resultsmthevariationofthe