一种马赫曾德尔干涉仪及多通道粗波分复用器.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112817091 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202110010443.9
(22)申请日 2021.01.05
(71)申请人 中国科学院半导体研究所
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