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氮化物半导体基板、层叠结构体和氮化物半导体基板的制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366159 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080011565.3 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事

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