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半导体基板的制造方法、镶嵌配线结构的制造方法、半导体基板和镶嵌配线结构.pdf

发布:2023-06-05约3.31万字共33页下载文档
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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112930586 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 201980071653.X (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限
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