半导体基板的制造方法、镶嵌配线结构的制造方法、半导体基板和镶嵌配线结构.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112930586 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 201980071653.X (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限
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