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III族氮化物层叠基板和半导体元件.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838148 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011302621.7 H01L 33/32 (2010.01) (22)申请日 2

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