III-V族化合物半导体基板和带有外延层的III-V族化合物半导体基板.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112838122 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202011621874.0 H01L 29/36 (2006.01)
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