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EUV光掩模及其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113359383 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110109572.3 G03F 1/48 (2012.01)

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