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掩模坯料、相移掩模、相移掩模的制造方法以及半导体器件的制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113383271 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202080012522.7 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

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