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反射型掩模坯料的制造方法及反射型掩模坯料.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341644 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110229567.6 C23C 14/35 (2006.01)

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