反射型掩模基板及制备方法、反射型掩模版及制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114859651 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210780838.1
(22)申请日 2022.07.05
(71)申请人 上海传芯半导体有限公司
地址 20
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