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反射型掩模基板及制备方法、反射型掩模版及制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114859651 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210780838.1 (22)申请日 2022.07.05 (71)申请人 上海传芯半导体有限公司 地址 20
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